使用后补助资金的发放。以核定申报金额的40%比例予以发放。每家单位后补助金额最高不超过200万元。
运行后补助的发放。申报运行后补助的，以核定申报金额的20%予以补助。对专业检测类企业申报运行后补助的，在核减申报金额50%的基础上，再按20%的比例予以补助。对于申报单位参加了当年度大型科研仪器开放共享年度评价考核获得“优秀”和“良好”等次的单位，对实核后补助资金比率予以提高，最高不超过40%。每家单位后补助金额最高不超过200万元。
新增仪器入网奖励发放。对于2024年4月1日至2025年4月30日期间购置仪器，申报入网经省科技厅审批通过的，按照入网仪器原值的5‰比例一次性给予奖励。
秀机组奖励发放。优秀机组被评定为“优秀”等次，每台套奖励1万元，被评定为“良好”等次的，每台套奖励0.5万元。
